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常見問題

碳化硅廢水處理設(shè)備核心技術(shù)突破|百惠浦環(huán)保高效解決高氟、高鹽難題

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2025-06-24

       行業(yè)痛點(diǎn):碳化硅廢水的治理挑戰(zhàn)  

     碳化硅(SiC)作為第三代半導(dǎo)體核心材料,其生產(chǎn)廢水含高濃度氟化物(2000-5000mg/L)、懸浮硅粉、重金屬及強(qiáng)酸堿,傳統(tǒng)工藝面臨三大瓶頸:  

     1. 氟化物深度去除難:常規(guī)鈣鹽沉淀法殘留氟離子>15mg/L,遠(yuǎn)超《GB 8978-1996》一級(jí)標(biāo)準(zhǔn)(10mg/L);  

     2. 硅膠體穩(wěn)定性高:納米級(jí)SiC顆粒易形成膠體,堵塞濾膜;  

     3. 高鹽廢水回用率低:硝酸、氫氟酸清洗液導(dǎo)致含鹽量>5%,膜系統(tǒng)易結(jié)垢失效。  


       百惠浦四級(jí)深度處理工藝  

     基于22項(xiàng)專利技術(shù),百惠浦創(chuàng)新開發(fā)“破膠除氟—重金屬截留—膜濃縮—蒸發(fā)結(jié)晶”全鏈條解決方案:  

     1. 預(yù)處理強(qiáng)化  

      -高效破膠除氟:  

     → 特種混凝技術(shù):采用鋁鐵復(fù)合絮凝劑(PAFC+PFS)破除硅膠體穩(wěn)定性,配合聚丙烯酰胺(PAM)加速沉降;  

     → 兩級(jí)化學(xué)沉淀:一級(jí)投加鈣鹽生成CaF?,二級(jí)引入磷酸鹽生成氟磷灰石,使氟離子濃度降至≤5mg/L。  


     2. 膜分離與資源化  

      -抗污染DTRO膜系統(tǒng):  

     采用開放式流道設(shè)計(jì),耐受SS≤5000mg/L的高濁廢水,回收率提升至85%;  

      -電解脫氟裝置:  

     陰極生成活性鋁羥基絡(luò)合物吸附殘余氟,避免膜污堵。  


     3. 零排放閉環(huán)設(shè)計(jì)  

      -MVR蒸發(fā)結(jié)晶:  

     對(duì)濃水進(jìn)行負(fù)壓蒸發(fā),回收高純度氟化鈣(CaF?,純度≥98%),作為原料回用于生產(chǎn);  

      -污泥干化減量:  

     板框壓濾+低溫?zé)岜酶稍铮勰嗪剩?0%,危廢量削減60%。  


       百惠浦設(shè)備的五大核心優(yōu)勢(shì)  

     | 技術(shù)維度       | 傳統(tǒng)工藝         | 百惠浦解決方案      |  

     |----------------|------------------|---------------------|  

     | 氟去除率   | 85%-90%          | ≥99.9%          |  

     | 膜壽命     | 6-12個(gè)月         | >36個(gè)月        |  

     | 能耗成本   | 8-10元/噸        | ≤5元/噸         |  

     | 自動(dòng)化程度 | 手動(dòng)調(diào)節(jié)         | IoT智能云控     |  

     | 資源回收   | 無(wú)               | CaF?回用        |  


     百惠浦深耕半導(dǎo)體廢水處理20年,服務(wù)全球10+國(guó)家超10000家企業(yè),從碳化硅晶片到功率器件制造領(lǐng)域,以技術(shù)創(chuàng)新推動(dòng)第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)綠色升級(jí)。  


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